Shimadzu Korea Vacuum Equipment Co., Ltd.
- Turbo Molecular Pump
- Helium Leak Detector
- Hydraulic Gear Pump
- Oil Rotary Vacuum Pump
- Balancing Machine
- Sputtering Machine
- Vacuum Heat-Treatment
- X-Ray Inspection System
터보분자펌프(TMP)는 태양전지 및 반도체 제조공정에 필수적인 진공 환경을 만듭니다. 세계에서 최고수준의 배기능력을 자랑하는 시마즈의 제품 라인업은 점점 대형화되고 있는 태양전지모듈과 실리콘 웨이퍼 층의 증착 및 제조요구사항을 충족하도록 설계되었습니다.
Wide-Range Turbo Molecular Pump
High Pumping Throughput Molecular Pump
Turbo Molecular Pump with Integrated Power Supply
Combination Bearings
