Shimadzu Korea Vacuum Equipment Co., Ltd.
- Turbo Molecular Pump
- Helium Leak Detector
- Hydraulic Gear Pump
- Oil Rotary Vacuum Pump
- Balancing Machine
- Sputtering Machine
- Vacuum Heat-Treatment
- X-Ray Inspection System
2020년 3월31일부로 생산종료, 보수 대응 기간은 2027년 3월까지 입니다.
Ecology vacuum pump
| 항목 | SMC-362 | SMC-1302 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| E | W | B | E | W | B | |
| 실제배기속도
(대기압, 60Hz에서)(I/min) |
360 | 1300 | ||||
| 도달압력(Pa) | 6.7 × 10 -2 | 6.7 × 10 -2~300 ※1 | 3.0 | 6.7 × 10 -2 | 6.7 × 10 -2~300 ※1 | 3.0 |
| 연속운전시 압력(Pa) | 2 × 10 3 | 2 × 10 3 | ||||
| 대기압에서 연속운전시 압력
(제3항)까지 허용배기시간 |
1시간 이내 | 30분 이내 | ||||
| 압력제어범위(Pt) ※2 | 1 ~ 2 × 10 3 | 1 ~ 2 × 10 3 | ||||
| 주파수 설정범위(Hz) | 6 ~ 60 | |||||
| 펌프의 허용 배기구압력(kPaG) | 20이하 | |||||
| 오일역류 방지장치 | 갑작스러운 정지(정전 등)대책을 위해 16시간 정도 오일 역류 방지장치 부착
(완전 방지를 위해서는 별도 역류방지 밸브를 설치하거나 대기에 개방합니다.) |
|||||
| 흡입가스의 종류 | 공기 등의 일반 가스 | |||||
| 흡입가스의 온도범위(℃) | -10 ~ 50 | |||||
| 사용환경의 온도범위(℃) | 5 ~ 35 | |||||
| 펌프유량(l) | 0.8 | 2.8 | 0.8 | 2.8 ~ 3.3 | 4.8 ~ 5.3 | 2.8 ~ 3.3 |
| 전원 | Φ3, AC200V, 50/60Hz | |||||
| 용량 | 0.88kW | 2.4kW | ||||
| 흡기구 | KF25 | KF40 | ||||
| 배기구 | KF25 | R2 | ||||
| 무게(kg) | 56 | 68 | 56 | 132 | 144 | 132 |
※1. W형은 오일 순환 유량(사용 상황에 따라 조정 가능)에 의해 도달 압력이 바뀝니다.
※2. 진공 레벨 단위 Pt는 Pa와 상응합니다. 그러나, 교정 된 값이 없습니다.
