Shimadzu Korea Vacuum Equipment Co., Ltd.
- Turbo Molecular Pump
- Helium Leak Detector
- Hydraulic Gear Pump
- Oil Rotary Vacuum Pump
- Balancing Machine
- Sputtering Machine
- Vacuum Heat-Treatment
- X-Ray Inspection System
2020년 3월31일부로 생산종료, 보수 대응 기간은 2027년 3월까지 입니다.
Direct-coupled motor oil rotary vacuum pump
| 항목 | GDH-162 | GDH-362 | GDH-802 | GDH-1302 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 실제배기속도
(대기압에서) 60Hz/50Hz(L/min) |
160 / 135 | 360 / 300 | 800 / 660 | 1300 / 1080 | |
| 도달압력
(흡기구 닫힌 경우)(Pa) |
6.7 × 10 -2 | ||||
| 연속운전시의 압력 Pa | 4 × 10 3이하 | 2 × 10 3다음 | |||
| 대기압에서 연속 운전시 압력
(제 3항)까지 허용배기시간 |
1 시간 이내 | 30 분 이내 | |||
| 펌프의 허용배기구 압력(KPaG) | 20 이하 | ||||
| 오일역류 방지장치 | 갑작스러운 정지(정전 등)대책을 위해 16시간 정도 오일 역류 방지장치 부착 (완전 방지를 위해서는 별도 역류방지 밸브를 설치하거나 대기에 개방합니다.) | ||||
| 흡입가스의 종류 | 표준형 | 공기 등의 일반 가스 | |||
| C 형 | Etching, CVD 등에 사용되는 부식성 가스 | ||||
| 흡입가스의 온도범위(℃) | -10 ~ 50 | ||||
| 사용환경의 온도범위(℃) | 5 ~ 40 | ||||
| 소음 (흡기구 폐쇄시, 1m 위치에서)(dB) | 약 55 | 약 60 | 약 68 | 약 70 | |
| 펌프유량(L) | 0.6 | 0.8 | 2.4 ~ 2.8 | 2.8 ~ 3.3 | |
| 펌프회전방향(구동 축에서) | 시계 방향 | ||||
| 전동기 ※ 1 | 단상 콘덴서 모터
AC100/200V,50/60Hz 0.4kW,4P |
삼상 교류 모터
AC200V,50/60Hz AC220V,60Hz 0.75kW,4P |
삼상 교류 모터
AC200V,50/60Hz AC220V,60Hz 1.5kW,4P |
삼상 교류 모터
AC200V,50/60Hz AC220V,60Hz 2.2kW,4P |
|
※1. 교차 전압·특수 모터 등의 대응도 가능합니다.
특수형
- 가스 밸러스트형(G형)
- 수증기 등의 응축성 가스의 액화를 방지하기 위해 대기 도입 밸브를 추가한 응축성 가스의 대책형.
- 화학형(C형)
- 부식처리 후 불소 고무를 사용하여 부식 방지형.
- 폰 브린형(F형)
- 반응성·내식성 물질에 대해 안정된 불소계 오일 사용 형.
