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Shimadzu Korea Vacuum Equipment Co., Ltd.

PRODUCT INDUSTRIAL MACHINERY

BEST for Semi & FPD Customers

Oil Rotary Vacuum Pump

2020년 3월31일부로 생산종료, 보수 대응 기간은 2027년 3월까지 입니다.

Small oil-rotary vacuum pump

항목 SA-18-3M S-51-2M D-50-2M ※2 D-150-2M ※2
배기속도 (대기압)
60Hz/50Hz(L/min)
18 / 15 50 / 40 50 / 40 150 / 125
도달압력(Pa)주문 1 1 10 -2 10 -2
회전수
60Hz/50Hz(rpm)
700 / 580
유량(L) 0.3 2 1.4 2.7
흡기구 Φ14 Φ20 Φ20 Φ26
전동기 ※ 1 단상 AC100V 0.2KW,4P 단상 AC100V 0.4KW,4P

※1. 서로 다른 전압·특수 모터 등의 대응도 가능합니다.
※2. 방음 방진의-4M형·-5M형도 준비하고 있습니다.

특수형
특수형 가스 밸러스트형(G형)
수증기 등의 응축성 가스의 액화를 방지하기 위해 대기 도입 밸브를 추가 한 응축성 가스 대책형