모델
유효사이즈(mm)
최고온도
처리양
도달압력
최고압력
설비전력
사용가스
폭×높이×깊이
(℃)
(Pa)
(MPa)
(kVA)
PVSGgr20/20/20
200×200×200
2200
10
7x10 -4
0.9
N 2,Ar,(H 2)