SHIMADZU Excellence in science

Shimadzu Korea Vacuum Equipment Co., Ltd.

PRODUCT INDUSTRIAL MACHINERY

BEST for Semi & FPD Customers

Vacuum  Heat-Treatment Furnaces

PVSG

모델

유효사이즈(mm)

최고온도

처리양

도달압력

최고압력

설비전력

사용가스

폭×높이×깊이

(℃)

(kg gross)

(Pa)

(MPa)

(kVA)

PVSGgr20/20/20

200×200×200

2200

10

7x10 -4

0.9

40

N 2,Ar,(H 2)