사출성형 된 입체의 플라스틱제품에 진공상태로 플라스마처리, SPUTTERING에 의한 금속막/금속산화막・CVD에 의한 Si(규소)산화막을 적층하는 막 생성 장치.

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  UHSP-OP2060

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  UHSP-T2040H