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Shimadzu Korea Vacuum Equipment Co., Ltd.

PRODUCT INDUSTRIAL MACHINERY

BEST for Semi & FPD Customers

Oil Rotary Vacuum Pump

2020년 3월31일부로 생산종료, 보수 대응 기간은 2027년 3월까지 입니다.

Product Lineup
Ecology vacuum pump
Ecology vacuum pump

필요한 압력에 따라 주파수를 가변함으로서 전력 소비량을 최대 65%이상 절감할 수 있습니다.

SMC-362
SMC-1302
Direct-coupled motor oil rotary vacuum pump
Direct-coupled motor
oil rotary vacuum pump

강제 급유 펌프를 내장하고 있기 때문에, 내부 윤활 성능이 항상 안정되어 있습니다.

GDH-162
GDH-362
GDH-802
GDH-1302
Small oil-rotary vacuum pump
Small oil-rotary
vacuum pump

과열을 방지하는 나사펌프의 원리를 응용한 강제 급유 구조로 되어있습니다.

SA-18-3M
S-51-2M
D-50-2M
D-150-2M
Medium, large oil rotary vacuum pump
Medium, large oil rotary
vacuum pump

3000L/min까지 모두 공냉식이며 운전 비용의 경제성과 취급의 간소화를 도모하고 있습니다

KD-300-2M
S-51-2M
D-50-2M
D-150-2M
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