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VHS/VHS-M
모델
|
유효사이즈(mm)
|
최고온도
|
처리양
|
도달압력
|
최고압력
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설비전력
|
사용가스
|
폭×높이×깊이
|
(℃)
|
(kg gross) |
(Pa)
|
(MPa)
|
(kVA)
|
VHSgr20/20/50
|
200×200×500
|
1600
(2400)
|
50
|
7x10
-1
(7×10
-3)
|
대기압
|
70 |
N
2,Ar,(H
2)
|
VHSgr30/30/60
|
300×300×600
|
100
|
90 |
VHSgr40/40/100
|
400×400×1000
|
250
|
140 |
VHSgr50/50/120
|
500×500×1200
|
400
|
170 |