SHIMADZU Excellence in science

Shimadzu Korea Vacuum Equipment Co., Ltd.

PRODUCT INDUSTRIAL MACHINERY

BEST for Semi & FPD Customers

Oil Rotary Vacuum Pump

2020년 3월31일부로 생산종료, 보수 대응 기간은 2027년 3월까지 입니다.

Medium, large oil rotary vacuum pump
항목 KD-300-2M KSL-650NM KSL-1500NM KPL-3000NM KP-6500NM
배기속도 (대기압)
60Hz/50Hz(L/min)
300/250 650/540 1500/1250 3000/2500 6500/5400
도달압력(Pa) 10 -2 10 -1
회전수
60Hz/50Hz(rpm)
560/460 450/375 400/330
유량(L) 1 2 5.5 7.5 13
냉각방식 공냉 수냉
흡기구 Φ26 VG50 VG80 VG100
배기구 - R1 R2 R2-1/2 R3
전동기 ※ 1 단상 AC200V 0.4KW, 4P 단상 AC200V 1.5KW, 4P 단상 AC200V 2.2KW, 4P 단상 AC200V 3.7KW, 4P 단상 AC200V 7.5KW, 4P

※1.외부전압·특수모터 등의 대응도 가능합니다.

특수형
가스 밸러스트형(G형)
수증기 등의 응축성 가스의 액화를 방지하기 위해 대기 도입 밸브를 추가 한 응축성 가스 대책형
강제 윤활형(L형)
윤활 불량 등에 의한 손상이나 이상 마모의 대책으로서 주요 부분에 새로운 기름을 강제로 윤활
벨트형(B형)
KSL 유형에 벨트를 설치한 방진 대책형